濕式氧化法是在高溫（125℃~320℃）和高壓（0.5~20MPa）條件下，以空氣中的氧作為氧化劑，在液相中將有機物分解為二氧化碳、水等無機物或小分子有機物的化學過程。由于剩余污泥在物質結構上與高濃度有機廢水十分相似，因此這種方法也可用于處理剩余污泥。剩余污泥的濕式氧化法處理是濕式氧化法的應用領域，有50%以上的濕式氧化裝置應用于剩余污泥的處理。這一工藝是由日本的H·Yasui等學者提出的。此工藝中，剩余污泥的消化與污水處理在同一個曝氣池中同時進行。工藝分成兩個過程，一個是臭氧氧化過程，另一個是生物降解過程。

從二沉池中沉下來的污泥，一部分直接回流到曝氣池中，另一部分則是行臭氧處理然后再回流到曝氣池。污泥經過臭氧處理后，能夠提高其生物降解性，在曝氣池中與污水同時進行生物處理。而且在經臭氧處理后，將有一部分污泥（1/3）被無機化。因此,只要操作適當，可以使污水處理過程中凈增污泥量與無機化污泥量相等，從而可以達到無剩余污泥的目的。高速生物反應器技術是在利用土壤處理污泥的基礎上發展起來的。利用土壤中的微生物處理污泥，由于系統是開放的，因而會受到氣溫和土壤濕度的影響，使土壤利用的時間和區域受到一定的限制。

美國SWEC公司在80年代開始研制開發高速生物反應器，該技術將污泥的脫水、消化和干化相結合，將土壤處理的整個過程放置在室內一個封閉的循環系統中進行。Texaco經過近20年的研究開發，使高速生物反應器技術成熟并得以推廣。整個操作系統的核心部分是生物反應器，它由二個區域組成：上半部分是污泥與土壤相混合的區域，使污泥負荷達到均一化，污泥的有機部分在這一區域中被生物降解；下半部分是氣、液分離區，使液體不滯留于土壤中，以增加氧的傳遞率。高負荷率的污泥通過該系統的處理，污泥中的有機組分將降解70%~80%，懸浮固體濃度去除率達到45%~60%。從沉淀池排出濃度為5000~30000mg/L的污泥都可以直接進入該系統中，而不需要任何的預處理。相比于其它生物處理技術，該系統所需能量較少，可以連續運行，并能保持溫度以利于微生物的降解，特別適合于受自然條件限制或土壤濕度大的污泥處理過程中。

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